1081-奈微機電系統-51026

報名期間：從 即日起 到 無限期
上課期間：從 2019-08-01 到 2020-01-31

• 2019A奈微機電系統(課程大綱)
• W1_Introduction
• W2_Scaling effect
• W3_NMEMS process_I
• W4_NMEMS process_II
• W5_MEMS Design
• W6_MEMS Simulation
• Report 1 (報告1 說明)
• W7_NMEMS Actuators
• W8_Micro Optic Components
• W9_期中考_2019_Midterm
• W10_NMEMS_Microfluidics1
• W11_NMEMS_Microfluidics2
• W11_NMEMS_ThermalDevices
• W12_Smart_Materials
• W13_NMEMS_Sensor_Part1
• W14_NMEMS_Sensor_Part2
• W15_Chemical Sensor
• W16_BioMEMS
• REF_Paper Si Crystal 3D Model
• REF_Feynman_There's plenty of room at bottom
• REF_Etching_Table
• REF_TSMC專利簡介
• REF_製程相關注意事項handout
• REF_MEMS及感測器將加速物聯網普及
• REF_台積電先進封裝
• Report 2 (報告2 說明)(期限:12/18)
• 期末專題 (期末專題說明)(期限:01/08)
• 期末成績總表(01/09)