通過條件成 績 ：60 分
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微機電工程與應用課程說明
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微機電學習單
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--- 參考教材 ----------------
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---- 講義 ----------------------------
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---- 微機電工程 簡介 ---------------------------------
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第一章 CMOS-MEMS
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Introduction of Micromachines
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integrating-mems-and-ics
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---- 本學期課程影音 ----------------------------------
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0219 課程影音
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---- 0305 --------------
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CMOS 標準製程
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CMOS 0.35 um 製程
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---- 0312 --------------
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Latch-up
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0312 課程影音
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0312 課程學習單
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---- 0318 ----------------------------
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CMOS-MEMS 第二章
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---- 0326 ----------------------------
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0326 側壁間隙結構
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0326 MOSFET 電晶體臨界電壓 Vth
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1.4 補充 TMAH 蝕刻製程 (已更正計算)
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0326 CMOS-MEMS 製程整合
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0326 課程影音
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---- 0409 -------------------------
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第一章 CMOS-MEMS
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1-7 Silicon Dry Etching
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----- 技術主題 --------------------------------------
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A flow direction sensor fabricated using MEMS technology and its simple interface circuit
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A Single-Crystal Silicon 3-axis CMOS-MEMS Accelerometer
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Microelectronic capacitance transducer for particle detection
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Microfabrication Techniques for Chemical_Bio_Sensor
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----- 參考影音 ---------------------------------------------------
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微機電簡介
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CMOS 製程
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Bosch 加速計技術簡介
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微影與蝕刻製程
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--- TSRI 帳號申請與EDA cloud 2.0 -------------------------------------
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EDAcloud2.0操作
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帳號申請與環境設定
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1. CMOS-MEMS 產業筆記格式
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使用者名單與帳號
- 課程介紹
- 課程安排
- 評論
