通過條件成 績 ：60 分
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微機電工程與應用課程說明
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--- 參考教材 ----------------
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Smart Material Systems and MEMS
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CMOS-MEMS
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---- 微機電工程 簡介 ---------------------------------
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微機電產業與技術簡介
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Introduction of Micromachines
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integrating-mems-and-ics
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----- 技術主題 --------------------------------------
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A flow direction sensor fabricated using MEMS technology and its simple interface circuit
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A Single-Crystal Silicon 3-axis CMOS-MEMS Accelerometer
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Microelectronic capacitance transducer for particle detection
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Microfabrication Techniques for Chemical_Bio_Sensor
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---- 本學期課程影音 ----------------------------------
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0219 課程影音
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----- 參考影音 ---------------------------------------------------
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微機電簡介
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CMOS 製程
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Bosch 加速計技術簡介
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微影與蝕刻製程
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--- TSRI 帳號申請與EDA cloud 2.0 -------------------------------------
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EDAcloud2.0操作
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帳號申請與環境設定
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1. CMOS-MEMS 產業筆記格式
- 課程介紹
- 課程安排
- 評論
