通過條件
成  績 :60 分
  • 1082_CMOS MEMS 系統設計課程說明
  • ---- CMOS-MEMS 簡介 ---------------------------------
  • 微機電產業與技術簡介
  • CMOS MEMS 及其於感測器之應用
  • Introduction of Micromachines
  • integrating-mems-and-ics
  • ----- 技術主題 --------------------------------------
  • A flow direction sensor fabricated using MEMS technology and its simple interface circuit
  • A Single-Crystal Silicon 3-axis CMOS-MEMS Accelerometer
  • Microelectronic capacitance transducer for particle detection
  • Microfabrication Techniques for Chemical_Bio_Sensor
  • ---- 課程影音 ----------------------------------
  • 0308 影音
  • 0314 影音
  • 0328 影音
  • 0412 影音
  • 0412 CMOS-MEMS 講義
  • 0425 影音課程-1
  • 0425 影音課程-2
  • ----- 參考影音 ---------------------------------------------------
  • 微機電簡介
  • CMOS 製程
  • Bosh 加速計技術簡介
  • 微影與蝕刻製程
  • --- 作業 -------------------------------------
  • 1. CMOS-MEMS 產業筆記格式
授課老師
沈志雄
陳淑容
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