通過條件
成 績 :60 分
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緒論
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........ Introduction to MEMS
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.........補充:半導體基礎 原理、元件與製程
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........ MEMS & Sensor Trends
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........ MEMS market and their possible future
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單元一 微機電科技簡介
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........ 底下空間還很大_理查費曼
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........ there is plenty of room at the bottom
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單元二 微感測器技術
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........ 準確量測高度 氣壓變化 電容式壓力計應用需求升溫
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........ 波束成形與降噪技術提高SNR MEMS麥克風實現精準聲控
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單元三 微制動器技術
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單元四 光學微機電系統技術
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單元五 生醫微機電技術
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單元六 微流體元件技術
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單元七 矽質微細加工
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