通過條件
成 績 :60 分
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1082_CMOS MEMS 系統設計課程說明
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---- CMOS-MEMS 簡介 ---------------------------------
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微機電產業與技術簡介
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CMOS MEMS 及其於感測器之應用
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Introduction of Micromachines
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integrating-mems-and-ics
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----- 技術主題 --------------------------------------
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A flow direction sensor fabricated using MEMS technology and its simple interface circuit
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A Single-Crystal Silicon 3-axis CMOS-MEMS Accelerometer
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Microelectronic capacitance transducer for particle detection
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Microfabrication Techniques for Chemical_Bio_Sensor
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---- 課程影音 ----------------------------------
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0308 影音
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0314 影音
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0328 影音
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0412 影音
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0412 CMOS-MEMS 講義
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0425 影音課程-1
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0425 影音課程-2
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----- 參考影音 ---------------------------------------------------
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微機電簡介
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CMOS 製程
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Bosh 加速計技術簡介
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微影與蝕刻製程
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--- 作業 -------------------------------------
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1. CMOS-MEMS 產業筆記格式
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- 課程安排
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