通過條件
成  績 :60 分
  • 緒論
  • ........ Introduction to IC technology and applications
  • ........ MEMS overview
  • ........ An introduction to MEMS
  • ........ cmos vs mems
  • ........ MEMS market and their possible future
  • ........ there is plenty of room at the bottom
  • ........ 底下空間還很大_理查費曼
  • 單元一 微機電科技簡介
  • 單元二 半導體製程與設備
  • ------- 半導體製程與設備_補充
  • 單元三 微感測器技術
  • 單元四 微制動器技術
  • Linear Microvibromotor for positioning optical components
  • 單元五 光學微機電系統技術
  • 單元六 生醫微機電技術
  • 單元七 微流體元件技術
授課老師
陳淑容
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