通過條件
成 績 :60 分
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緒論
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........ Introduction to IC technology and applications
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........ MEMS overview
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........ An introduction to MEMS
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........ cmos vs mems
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........ MEMS market and their possible future
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........ there is plenty of room at the bottom
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........ 底下空間還很大_理查費曼
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單元一 微機電科技簡介
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單元二 半導體製程與設備
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------- 半導體製程與設備_補充
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單元三 微感測器技術
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單元四 微制動器技術
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Linear Microvibromotor for positioning optical components
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單元五 光學微機電系統技術
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單元六 生醫微機電技術
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單元七 微流體元件技術
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