1032-微機電工程與應用-51022

報名期間：從 即日起 到 無限期
上課期間：從 2015-02-24 到 2015-07-03

• 緒論
• ........ Introduction to MEMS
• .........補充:半導體基礎 原理、元件與製程
• ........ MEMS & Sensor Trends
• ........ MEMS market and their possible future
• 單元一 微機電科技簡介
• ........ 底下空間還很大_理查費曼
• ........ there is plenty of room at the bottom
• 單元二 微感測器技術
• ........ 準確量測高度 氣壓變化 電容式壓力計應用需求升溫
• ........ 波束成形與降噪技術提高SNR MEMS麥克風實現精準聲控
• 單元三 微制動器技術
• 單元四 光學微機電系統技術
• 單元五 生醫微機電技術
• 單元六 微流體元件技術
• 單元七 矽質微細加工
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